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光致抗蚀剂组合物和光致抗蚀剂图案的制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311810723.3
申请日：
2023-12-26
公开(公告)号：
CN117608167A
公开(公告)日：
2024-02-27
发明(设计)人：
李光武
陈津江
申请人：
南开大学
申请人地址：
300071 天津市南开区卫津路94号
IPC主分类号：
G03F7/004
IPC分类号：
代理机构：
天津展誉专利代理有限公司 12221
代理人：
刘红春
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
河北省
衡水市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-03-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/004申请日:20231226 |
| 2024-02-27 | 公开 | 公开 |