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化学机械式研磨装置用承载头的卡环及具备其的承载头
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811580191.8
申请日：
2018-12-24
公开(公告)号：
CN111266993A
公开(公告)日：
2020-06-12
发明(设计)人：
孙准晧
申盛皓
申请人：
申请人地址：
韩国京畿道
IPC主分类号：
B24B3730
IPC分类号：
代理机构：
北京鸿元知识产权代理有限公司 11327
代理人：
姜虎;陈英俊
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-08-31 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/30 申请日:20181224 |
| 2020-06-12 | 公开 | 公开 |