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化学机械式研磨装置的承载头及其隔膜
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201820904981.6
申请日：
2018-06-12
公开(公告)号：
CN208788288U
公开(公告)日：
2019-04-26
发明(设计)人：
赵珳技
申请人：
申请人地址：
韩国京畿道
IPC主分类号：
B24B3734
IPC分类号：
代理机构：
北京鸿元知识产权代理有限公司 11327
代理人：
姜虎;陈英俊
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-04-26 | 授权 | 授权 |