化学机械式研磨装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721616087.0

申请日：

2017-11-28

公开(公告)号：

CN207534605U

公开(公告)日：

2018-06-26

发明(设计)人：

安俊镐孙昞澈罗原在

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

B24B37015

IPC分类号：

B24B3720 B24B3727 B24B3734

代理机构：

北京鸿元知识产权代理有限公司 11327

代理人：

姜虎;陈英俊

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-06-26	授权	授权

共 50 条

[1]

化学机械式研磨装置 [P].

禹相政 .

中国专利 :CN207289796U ,2018-05-01

[2]

化学机械式研磨装置 [P].

朴奎南 .

中国专利 :CN208173551U ,2018-11-30

[3]

化学机械式研磨装置的调节器 [P].

金泰贤 .

中国专利 :CN209110819U ,2019-07-16

[4]

化学机械式研磨装置的调节器 [P].

蔡熙成 .

中国专利 :CN207534614U ,2018-06-26

[5]

化学机械式研磨装置的调节器 [P].

金泰贤 ;

赵珳技 .

中国专利 :CN111055212A ,2020-04-24

[6]

化学机械式研磨装置的承载头及其隔膜 [P].

赵珳技 .

中国专利 :CN208788288U ,2019-04-26

[7]

研磨装置及化学机械研磨设备 [P].

王跃林 ;

许力介 ;

韩志祥 ;

赵振伟 .

中国专利 :CN223383257U ,2025-09-26

[8]

化学机械研磨装置 [P].

金柄俊 .

中国专利 :CN206622963U ,2017-11-10

[9]

化学机械研磨装置 [P].

禹相政 ;

申盛皓 ;

金圣教 .

中国专利 :CN206825190U ,2018-01-02

[10]

化学机械研磨装置 [P].

陈承先 ;

黄雅仪 ;

高铭祥 ;

林义雄 ;

郭祖宽 .

中国专利 :CN2763968Y ,2006-03-08

← 1 2 3 4 5 →