化学机械式研磨装置的调节器

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721711595.7

申请日：

2017-12-11

公开(公告)号：

CN207534614U

公开(公告)日：

2018-06-26

发明(设计)人：

蔡熙成

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

B24B3734

IPC分类号：

代理机构：

北京鸿元知识产权代理有限公司 11327

代理人：

姜虎;陈英俊

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-06-26	授权	授权

共 50 条

[1]

化学机械式研磨装置的调节器 [P].

金泰贤 .

中国专利 :CN209110819U ,2019-07-16

[2]

化学机械式研磨装置的调节器 [P].

金泰贤 ;

赵珳技 .

中国专利 :CN111055212A ,2020-04-24

[3]

化学机械式研磨装置 [P].

禹相政 .

中国专利 :CN207289796U ,2018-05-01

[4]

化学机械式研磨装置 [P].

朴奎南 .

中国专利 :CN208173551U ,2018-11-30

[5]

化学机械式研磨装置 [P].

安俊镐 ;

孙昞澈 ;

罗原在 .

中国专利 :CN207534605U ,2018-06-26

[6]

化学机械研磨机台的调节器 [P].

郑吉峰 .

中国专利 :CN1245741C ,2004-03-10

[7]

可测量研磨垫高度偏差的化学机械研磨装置的调节器 [P].

蔡熙成 .

中国专利 :CN205069592U ,2016-03-02

[8]

机械式压力调节器 [P].

魏志鑫 ;

张心周 ;

于林海 ;

徐刚 ;

马双阳 ;

张俊杰 .

中国专利 :CN211525053U ,2020-09-18

[9]

化学机械研磨设备的调节器及调节方法 [P].

徐建植 ;

夫在弼 ;

金东秀 ;

具滋铁 ;

全灿云 ;

潘俊昊 .

中国专利 :CN102240962B ,2011-11-16

[10]

化学机械式研磨装置的承载头及其隔膜 [P].

赵珳技 .

中国专利 :CN208788288U ,2019-04-26

← 1 2 3 4 5 →