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化学机械式研磨装置用承载头的卡环及具备其的承载头
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201721580200.4
申请日：
2017-11-23
公开(公告)号：
CN207464968U
公开(公告)日：
2018-06-08
发明(设计)人：
孙准皓
申盛皓
申请人：
申请人地址：
韩国京畿道
IPC主分类号：
B24B3734
IPC分类号：
代理机构：
北京鸿元知识产权代理有限公司 11327
代理人：
姜虎;陈英俊
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-06-08 | 授权 | 授权 |