一种光刻胶回收装置和涂布机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320103774.8

申请日：

2013-03-07

公开(公告)号：

CN203091218U

公开(公告)日：

2013-07-31

发明(设计)人：

李伟刘富军魏崇喜朱杰

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

B05C1110

IPC分类号：

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

许静;安利霞

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-07-31	授权	授权

共 50 条

[1]

光刻胶涂布机 [P].

郭亚内 ;

张建 ;

姜天明 .

中国专利 :CN307811768S ,2023-01-24

[2]

一种光刻胶涂布机 [P].

张俊余 ;

吴金力 ;

张满意 ;

刘冲 .

中国专利 :CN205091542U ,2016-03-16

[3]

一种光刻胶涂布机 [P].

张俊余 ;

柳晓暖 .

中国专利 :CN206532079U ,2017-09-29

[4]

光刻胶涂布机承载系统及具有该系统的光刻胶涂布机 [P].

张志豪 .

中国专利 :CN202257027U ,2012-05-30

[5]

一种光刻胶涂布机构 [P].

陈晓光 ;

康小文 ;

于深 .

中国专利 :CN220872872U ,2024-04-30

[6]

一种用于回收涂布机管道内光刻胶的装置 [P].

陈灏渠 .

中国专利 :CN206178340U ,2017-05-17

[7]

一种用于回收涂布机管道内光刻胶的装置 [P].

刘幸 .

中国专利 :CN205210514U ,2016-05-04

[8]

光刻胶供给装置及涂布机 [P].

何文超 ;

陈聪文 ;

李俞廷 .

中国专利 :CN104281007A ,2015-01-14

[9]

具有药剂回收系统的光刻胶涂布机 [P].

徐飞 ;

彭建中 ;

李亚明 ;

高广修 ;

吴昌龙 ;

张良 .

中国专利 :CN206470532U ,2017-09-05

[10]

一种光刻胶离心涂布机用卡盘 [P].

胡泰祥 .

中国专利 :CN203520010U ,2014-04-02

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