光刻胶供给装置及涂布机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410385311.4

申请日：

2014-08-06

公开(公告)号：

CN104281007A

公开(公告)日：

2015-01-14

发明(设计)人：

何文超陈聪文李俞廷

申请人：

申请人地址：

518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号

IPC主分类号：

G03F716

IPC分类号：

B05C1110

代理机构：

广州三环专利代理有限公司 44202

代理人：

郝传鑫;熊永强

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-01-14	公开	公开
2015-02-11	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101598159569 IPC(主分类):G03F 7/16 专利申请号:2014103853114 申请日:20140806
2019-05-03	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F 7/16 申请公布日:20150114

共 50 条

[1]

光刻胶涂布机 [P].

郭亚内 ;

张建 ;

姜天明 .

中国专利 :CN307811768S ,2023-01-24

[2]

光刻胶涂布机承载系统及具有该系统的光刻胶涂布机 [P].

张志豪 .

中国专利 :CN202257027U ,2012-05-30

[3]

光刻胶涂覆方法及涂布机 [P].

刘文渠 ;

董立文 ;

党宁 ;

张锋 ;

王峰超 ;

吕志军 .

中国专利 :CN108196431A ,2018-06-22

[4]

一种光刻胶涂布机 [P].

张俊余 ;

吴金力 ;

张满意 ;

刘冲 .

中国专利 :CN205091542U ,2016-03-16

[5]

一种光刻胶涂布机 [P].

张俊余 ;

柳晓暖 .

中国专利 :CN206532079U ,2017-09-29

[6]

光刻胶涂布吸头及光刻胶涂布装置 [P].

汪良恩 ;

汪曦凌 ;

伍银辉 .

中国专利 :CN204347432U ,2015-05-20

[7]

一种光刻胶供给装置和光刻胶涂布系统 [P].

杜景龙 ;

杨辉 ;

承小辉 ;

路朝华 .

中国专利 :CN205334053U ,2016-06-22

[8]

光刻胶供给装置 [P].

张连坤 ;

李冠军 ;

贾洪元 ;

魏崇喜 .

中国专利 :CN103645606B ,2014-03-19

[9]

光刻胶供给装置 [P].

黄宗友 .

中国专利 :CN216894771U ,2022-07-05

[10]

一种光刻胶回收装置和涂布机 [P].

李伟 ;

刘富军 ;

魏崇喜 ;

朱杰 .

中国专利 :CN203091218U ,2013-07-31

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