光刻胶涂覆方法及涂布机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810002807.7

申请日：

2018-01-02

公开(公告)号：

CN108196431A

公开(公告)日：

2018-06-22

发明(设计)人：

刘文渠董立文党宁张锋王峰超吕志军

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

G03F716

IPC分类号：

代理机构：

北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138

代理人：

杨广宇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-07-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/16 申请日:20180102
2021-01-01	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G03F 7/16 申请公布日:20180622
2018-06-22	公开	公开

共 50 条

[1]

光刻胶涂布机 [P].

郭亚内 ;

张建 ;

姜天明 .

中国专利 :CN307811768S ,2023-01-24

[2]

光刻胶涂覆装置及光刻胶涂覆方法 [P].

田笵焕 ;

林钟吉 ;

张成根 ;

金在植 .

中国专利 :CN113138535A ,2021-07-20

[3]

光刻胶涂布机承载系统及具有该系统的光刻胶涂布机 [P].

张志豪 .

中国专利 :CN202257027U ,2012-05-30

[4]

光刻胶涂覆设备及光刻胶涂覆方法 [P].

周伟峰 .

中国专利 :CN1963671B ,2007-05-16

[5]

光刻胶涂覆系统及光刻胶涂覆方法 [P].

汝长海 ;

朱军辉 ;

翟荣安 ;

王勇 .

中国专利 :CN112099313A ,2020-12-18

[6]

光刻胶供给装置及涂布机 [P].

何文超 ;

陈聪文 ;

李俞廷 .

中国专利 :CN104281007A ,2015-01-14

[7]

光刻胶涂覆结构及光刻胶的涂覆方法 [P].

朱圣兵 ;

戴毓强 ;

薛兴涛 .

中国专利 :CN118151493A ,2024-06-07

[8]

光刻胶涂覆方法 [P].

于世瑞 ;

李黎明 ;

王健鹏 ;

陈蕾 .

中国专利 :CN101592866A ,2009-12-02

[9]

一种光刻胶涂布机 [P].

张俊余 ;

吴金力 ;

张满意 ;

刘冲 .

中国专利 :CN205091542U ,2016-03-16

[10]

一种光刻胶涂布机 [P].

张俊余 ;

柳晓暖 .

中国专利 :CN206532079U ,2017-09-29

← 1 2 3 4 5 →