一种光刻胶离心涂布机用卡盘

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320620146.7

申请日：

2013-10-09

公开(公告)号：

CN203520010U

公开(公告)日：

2014-04-02

发明(设计)人：

胡泰祥

申请人：

申请人地址：

430074 湖北省武汉市东湖新技术开发区滨湖路6号

IPC主分类号：

G03F716

IPC分类号：

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

张大威

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-04-02	授权	授权
2018-09-28	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/16 申请日:20131009 授权公告日:20140402 终止日期:20171009

共 50 条

[1]

光刻胶涂布机 [P].

郭亚内 ;

张建 ;

姜天明 .

中国专利 :CN307811768S ,2023-01-24

[2]

一种光刻胶涂布机 [P].

张俊余 ;

吴金力 ;

张满意 ;

刘冲 .

中国专利 :CN205091542U ,2016-03-16

[3]

一种光刻胶涂布机 [P].

张俊余 ;

柳晓暖 .

中国专利 :CN206532079U ,2017-09-29

[4]

光刻胶涂布机承载系统及具有该系统的光刻胶涂布机 [P].

张志豪 .

中国专利 :CN202257027U ,2012-05-30

[5]

一种光刻胶涂布机构 [P].

陈晓光 ;

康小文 ;

于深 .

中国专利 :CN220872872U ,2024-04-30

[6]

一种光刻胶涂布机用引风罩 [P].

许良锐 ;

黎瑶 ;

刘成 .

中国专利 :CN214474409U ,2021-10-22

[7]

一种光刻胶回收装置和涂布机 [P].

李伟 ;

刘富军 ;

魏崇喜 ;

朱杰 .

中国专利 :CN203091218U ,2013-07-31

[8]

光刻胶供给装置及涂布机 [P].

何文超 ;

陈聪文 ;

李俞廷 .

中国专利 :CN104281007A ,2015-01-14

[9]

光刻胶涂覆方法及涂布机 [P].

刘文渠 ;

董立文 ;

党宁 ;

张锋 ;

王峰超 ;

吕志军 .

中国专利 :CN108196431A ,2018-06-22

[10]

光刻胶涂布吸头及光刻胶涂布装置 [P].

汪良恩 ;

汪曦凌 ;

伍银辉 .

中国专利 :CN204347432U ,2015-05-20

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