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半导体冷却系统及其制造工艺
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN200580030505.1
申请日
:
2005-08-11
公开(公告)号
:
CN101019218A
公开(公告)日
:
2007-08-15
发明(设计)人
:
埃列塞尔·阿达尔
弗拉迪米尔·戈特利布
申请人
:
申请人地址
:
以色列瓦博格
IPC主分类号
:
H01L2150
IPC分类号
:
H01L2334
代理机构
:
北京三友知识产权代理有限公司
代理人
:
孙海龙
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2007-10-10
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-04-22
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2007-08-15
公开
公开
共 50 条
[1]
用于半导体制造工艺的冷却系统及半导体制造系统
[P].
福住幸大
论文数:
0
引用数:
0
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机构:
株式会社荏原制作所
株式会社荏原制作所
福住幸大
.
日本专利
:CN120769968A
,2025-10-10
[2]
半导体工艺炉及其冷却系统
[P].
张乐成
论文数:
0
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0
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机构:
上海华力微电子有限公司
上海华力微电子有限公司
张乐成
.
中国专利
:CN118241187A
,2024-06-25
[3]
半导体封装及其冷却系统
[P].
朴辰遇
论文数:
0
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0
机构:
三星电子株式会社
三星电子株式会社
朴辰遇
.
韩国专利
:CN118693021A
,2024-09-24
[4]
半导体装置以及其冷却系统
[P].
宫本升
论文数:
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宫本升
;
爱甲光德
论文数:
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爱甲光德
.
中国专利
:CN103253124A
,2013-08-21
[5]
半导体封装器件及其插座、冷却系统
[P].
朱秋昀
论文数:
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机构:
通富微电子股份有限公司
通富微电子股份有限公司
朱秋昀
;
杜茂华
论文数:
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机构:
通富微电子股份有限公司
通富微电子股份有限公司
杜茂华
.
中国专利
:CN117995790A
,2024-05-07
[6]
具有冷却系统的半导体装置
[P].
中村重信
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中村重信
;
石山弘
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石山弘
;
酒井泰幸
论文数:
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酒井泰幸
.
中国专利
:CN1574316A
,2005-02-02
[7]
半导体封装及其制造工艺
[P].
朱立寰
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朱立寰
;
陈旭贤
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陈旭贤
;
林亮臣
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林亮臣
;
谢宗扬
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谢宗扬
;
李信贤
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李信贤
;
蔡坤宏
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蔡坤宏
.
中国专利
:CN112687552A
,2021-04-20
[8]
半导体结构及其制造工艺
[P].
陈逸仁
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陈逸仁
;
梁春昇
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梁春昇
;
王淑慧
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王淑慧
;
张世勋
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张世勋
;
江欣哲
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江欣哲
.
中国专利
:CN106206434B
,2016-12-07
[9]
半导体器件及其制造工艺
[P].
石冢典男
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石冢典男
;
三浦英生
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三浦英生
;
池田修二
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池田修二
;
铃木范夫
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铃木范夫
;
松田安司
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松田安司
;
吉田安子
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吉田安子
;
山本裕彦
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山本裕彦
;
小林正道
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小林正道
;
高松朗
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高松朗
;
清水博文
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清水博文
;
福田和司
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福田和司
;
堀部晋一
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堀部晋一
;
野添俊夫
论文数:
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野添俊夫
.
中国专利
:CN1516260A
,2004-07-28
[10]
半导体器件及其制造工艺
[P].
东野智彦
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东野智彦
;
胜木信幸
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胜木信幸
;
川胜康弘
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川胜康弘
;
小林道弘
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小林道弘
.
中国专利
:CN101266973B
,2008-09-17
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