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用于原子层沉积工艺的进气装置及原子层沉积装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811149950.5
申请日：
2018-09-29
公开(公告)号：
CN109306470A
公开(公告)日：
2019-02-05
发明(设计)人：
魏景峰
荣延栋
傅新宇
申请人：
申请人地址：
100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号
IPC主分类号：
C23C16455
IPC分类号：
代理机构：
北京金智普华知识产权代理有限公司 11401
代理人：
巴晓艳
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-03-05 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20180929 |
| 2019-02-05 | 公开 | 公开 |