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原子层沉积设备的混气结构、进气装置及原子层沉积方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411892104.8
申请日：
2024-12-20
公开(公告)号：
CN119615121A
公开(公告)日：
2025-03-14
发明(设计)人：
张璞
刘亚男
李靖
申请人：
宸微设备科技（苏州）有限公司
申请人地址：
215299 江苏省苏州市吴江区江陵街道芦荡路228号
IPC主分类号：
C23C16/455
IPC分类号：
代理机构：
上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327
代理人：
何志婧;张雪琴
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-03-14 | 公开 | 公开 |
| 2025-04-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/455申请日:20241220 |