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一种硅晶片清洗装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201921843890.7
申请日：
2019-10-30
公开(公告)号：
CN210995512U
公开(公告)日：
2020-07-14
发明(设计)人：
朱汪龙
朱玲
申请人：
申请人地址：
214028 江苏省无锡市新吴区景贤路52号
IPC主分类号：
B08B302
IPC分类号：
H01L2167
H01L2102
代理机构：
南京经纬专利商标代理有限公司 32200
代理人：
徐尔东
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-07-14 | 授权 | 授权 |