悬浮液和研磨方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780057709.7

申请日：

2017-09-12

公开(公告)号：

CN109743878A

公开(公告)日：

2019-05-10

发明(设计)人：

大内真弓

申请人：

申请人地址：

日本国东京都千代田区丸之内一丁目9番2号

IPC主分类号：

C09K314

IPC分类号：

B24B3700 C09G102 H01L21304

代理机构：

上海华诚知识产权代理有限公司 31300

代理人：

杜娟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-10	公开	公开
2019-06-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C09K 3/14 申请日:20170912
2021-07-06	授权	授权
2021-06-22	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):C09K 3/14 变更事项:申请人变更前:日立化成株式会社变更后:昭和电工材料株式会社变更事项:地址变更前:日本国东京都千代田区丸之内一丁目9番2号变更后:日本国东京都千代田区丸之内一丁目9番2号

共 50 条

[1]

悬浮液和研磨方法 [P].

岩野友洋 .

中国专利 :CN110462791A ,2019-11-15

[2]

悬浮液、研磨液及其制备方法 [P].

周一 ;

毕洪伟 ;

彭杰 .

中国专利 :CN113698914A ,2021-11-26

[3]

研磨悬浮液腐蚀系统 [P].

M·林德 ;

S·H·索尔维尔森 .

中国专利 :CN110678624B ,2020-01-10

[4]

测量悬浮液和控制悬浮液工艺的装置和方法 [P].

L·考皮宁 ;

T·兰塔拉 ;

H·库姆普莱宁 .

中国专利 :CN110050100A ,2019-07-23

[5]

悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基体的研磨方法及基体 [P].

岩野友洋 ;

南久贵 ;

阿久津利明 ;

藤崎耕司 .

中国专利 :CN104334675A ,2015-02-04

[6]

悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基板的研磨方法及基板 [P].

岩野友洋 .

中国专利 :CN103409108B ,2013-11-27

[7]

悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基体的研磨方法以及基体 [P].

南久贵 ;

岩野友洋 ;

荒川敬太 ;

日高敬浩 .

中国专利 :CN105518833A ,2016-04-20

[8]

悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基体的研磨方法及基体 [P].

岩野友洋 ;

南久贵 ;

阿久津利明 ;

藤崎耕司 .

中国专利 :CN104321852A ,2015-01-28

[9]

悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基体的研磨方法及基体 [P].

岩野友洋 ;

南久贵 ;

阿久津利明 ;

藤崎耕司 .

中国专利 :CN104335331A ,2015-02-04

[10]

悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基板的研磨方法及基板 [P].

岩野友洋 .

中国专利 :CN103222036A ,2013-07-24

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