悬浮液和研磨方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780088760.4

申请日：

2017-03-27

公开(公告)号：

CN110462791A

公开(公告)日：

2019-11-15

发明(设计)人：

岩野友洋

申请人：

申请人地址：

日本国东京都千代田区丸之内一丁目9番2号

IPC主分类号：

H01L21304

IPC分类号：

C09K314

代理机构：

上海华诚知识产权代理有限公司 31300

代理人：

杜娟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-12-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/304 申请日:20170327
2019-11-15	公开	公开

共 50 条

[1]

悬浮液和研磨方法 [P].

大内真弓 .

中国专利 :CN109743878A ,2019-05-10

[2]

悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基体的研磨方法及基体 [P].

岩野友洋 ;

南久贵 ;

阿久津利明 ;

藤崎耕司 .

中国专利 :CN104334675A ,2015-02-04

[3]

悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基板的研磨方法及基板 [P].

岩野友洋 .

中国专利 :CN103409108B ,2013-11-27

[4]

悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基体的研磨方法以及基体 [P].

南久贵 ;

岩野友洋 ;

荒川敬太 ;

日高敬浩 .

中国专利 :CN105518833A ,2016-04-20

[5]

悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基体的研磨方法及基体 [P].

岩野友洋 ;

南久贵 ;

阿久津利明 ;

藤崎耕司 .

中国专利 :CN104321852A ,2015-01-28

[6]

悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基体的研磨方法及基体 [P].

岩野友洋 ;

南久贵 ;

阿久津利明 ;

藤崎耕司 .

中国专利 :CN104335331A ,2015-02-04

[7]

悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基板的研磨方法及基板 [P].

岩野友洋 .

中国专利 :CN103222036A ,2013-07-24

[8]

悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基体的研磨方法以及基体 [P].

南久贵 ;

岩野友洋 ;

荒川敬太 ;

日高敬浩 .

中国专利 :CN111378416A ,2020-07-07

[9]

悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基体的研磨方法及基体 [P].

岩野友洋 ;

南久贵 ;

阿久津利明 ;

藤崎耕司 .

中国专利 :CN104321854B ,2015-01-28

[10]

悬浮液、研磨液及其制备方法 [P].

周一 ;

毕洪伟 ;

彭杰 .

中国专利 :CN113698914A ,2021-11-26

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