基于新牺牲层工艺的热剪切应力传感器器件的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510012239.1

申请日：

2005-07-21

公开(公告)号：

CN1900669A

公开(公告)日：

2007-01-24

发明(设计)人：

石莎莉陈大鹏欧毅叶甜春

申请人：

申请人地址：

100029北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

G01L100

IPC分类号：

B81C100

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

周国城

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-01-24	公开	公开
2008-02-13	授权	授权
2009-09-16	专利权的终止(未缴年费专利权终止)	专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2007-03-21	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

基于真空粘合工艺的热剪切应力传感器器件的制作方法 [P].

石莎莉 ;

陈大鹏 ;

欧毅 ;

叶甜春 .

中国专利 :CN1900668A ,2007-01-24

[2]

基于二氧化硅特性制作热剪切应力传感器的方法 [P].

易亮 ;

欧毅 ;

陈大鹏 ;

景玉鹏 ;

叶甜春 .

中国专利 :CN101274740A ,2008-10-01

[3]

基于多晶硅特性制作热剪切应力传感器的方法 [P].

易亮 ;

欧毅 ;

陈大鹏 ;

景玉鹏 ;

叶甜春 .

中国专利 :CN101274738A ,2008-10-01

[4]

多传感器层的制作方法、多传感器芯片及其制作方法 [P].

王高峰 ;

王明浩 ;

周严 .

中国专利 :CN112479151A ,2021-03-12

[5]

基于硅衬底无牺牲层的非制冷红外焦平面阵列的制作方法 [P].

石莎莉 ;

陈大鹏 ;

景玉鹏 ;

殴毅 ;

董立军 ;

叶甜春 .

中国专利 :CN101047149A ,2007-10-03

[6]

采用基于硅衬底突点制作及释放牺牲层的方法 [P].

石莎莉 ;

陈大鹏 ;

欧毅 ;

谢常青 ;

叶甜春 .

中国专利 :CN100495653C ,2007-06-13

[7]

二维柔性剪切应力传感器及其测量方法 [P].

吕晓洲 ;

姜辣 ;

刘艳 ;

李小平 ;

包为民 .

中国专利 :CN106052939B ,2016-10-26

[8]

扰动应力传感器的制作方法 [P].

曾伟 ;

周辉 ;

周红波 ;

余记远 ;

高阳 ;

张天伟 ;

关汉锋 ;

庞博慧 ;

周少波 ;

杨凡杰 ;

于磊 ;

李志 ;

倪磊 ;

樊海民 .

中国专利 :CN113758622B ,2024-08-16

[9]

扰动应力传感器的制作方法 [P].

曾伟 ;

周辉 ;

周红波 ;

余记远 ;

高阳 ;

张天伟 ;

关汉锋 ;

庞博慧 ;

周少波 ;

杨凡杰 ;

于磊 ;

李志 ;

倪磊 ;

樊海民 .

中国专利 :CN113758622A ,2021-12-07

[10]

基于事件相机及微圆柱传感器的壁面剪切应力测量方法 [P].

孙北大 ;

李文丰 ;

马佳琪 ;

杨竣博 ;

王健良 .

中国专利 :CN119437530A ,2025-02-14

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