一种超低介电常数材料薄膜及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110047987.9

申请日：

2011-03-01

公开(公告)号：

CN102157439A

公开(公告)日：

2011-08-17

发明(设计)人：

丁士进孟庆伟杨春晓张卫

申请人：

申请人地址：

200433 上海市杨浦区邯郸路220号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L23532

代理机构：

上海正旦专利代理有限公司 31200

代理人：

陆飞;盛志范

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-08-17	公开	公开
2011-11-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101144709410 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2011100479879 申请日:20110301
2013-12-25	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101682259100 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2011100479879 申请公布日:20110817

共 50 条

[1]

一种超低介电常数材料薄膜及其制备方法 [P].

丁士进 ;

孟庆伟 ;

蒋涛 ;

张卫 .

中国专利 :CN102683275A ,2012-09-19

[2]

一种多孔超低介电常数材料薄膜及其制备方法 [P].

付爽 ;

丁士进 ;

张卫 .

中国专利 :CN101789418A ,2010-07-28

[3]

一种低介电常数多孔SiOCNH薄膜及其制备方法 [P].

丁士进 ;

黄毅华 ;

张卫 .

中国专利 :CN104164660B ,2014-11-26

[4]

一种基于BTEM前驱体的超低介电常数薄膜及其制备方法 [P].

丁士进 ;

丁子君 ;

蒋涛 ;

张卫 .

中国专利 :CN104078420A ,2014-10-01

[5]

超低介电常数薄膜及其制造方法 [P].

汪钉崇 .

中国专利 :CN1716547A ,2006-01-04

[6]

一种超低介电常数薄膜及预防超低介电常数薄膜损伤的方法 [P].

徐强 ;

张文广 ;

郑春生 ;

陈玉文 .

中国专利 :CN102412142A ,2012-04-11

[7]

低介电常数材料薄膜及其制备方法 [P].

陈蓉 ;

曹猛 ;

杨帆 ;

任浩楠 ;

宋吉升 .

中国专利 :CN117417561A ,2024-01-19

[8]

一种超低介电常数聚酰亚胺薄膜及其制备方法 [P].

马素德 ;

闵忠华 ;

王岩 ;

张勤勇 .

中国专利 :CN104157630B ,2014-11-19

[9]

一种超低介电常数绝缘薄膜及其制备方法 [P].

丁士进 ;

丁子君 ;

张卫 .

中国专利 :CN104008997A ,2014-08-27

[10]

一种低介电常数材料薄膜及其制备方法 [P].

王万军 ;

袁京 ;

杜丽萍 ;

黄祚刚 ;

姜标 .

中国专利 :CN105418927B ,2016-03-23

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