超低介电常数薄膜及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200410025643.8

申请日：

2004-06-30

公开(公告)号：

CN1716547A

公开(公告)日：

2006-01-04

发明(设计)人：

汪钉崇

申请人：

申请人地址：

201203上海市浦东新区张江高科技园区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21314

IPC分类号：

H01L21768 H01L21283

代理机构：

上海隆天新高专利商标代理有限公司

代理人：

楼仙英;竺明

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-06-21	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/314 申请日:20040630 授权公告日:20081001 终止日期:20180630
2008-10-01	授权	授权
2012-01-04	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/314 专利号:ZL2004100256438 变更事项:专利权人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张江路18号变更后权利人:201203 上海市张江路18号变更事项:共同专利权人变更前权利人:无变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司登记生效日:20111123 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101257315976
2006-03-01	实质审查的生效	实质审查的生效
2006-01-04	公开	公开

共 50 条

[1]

低介电常数薄膜及其制造方法 [P].

汪钉崇 .

中国专利 :CN100388480C ,2005-11-16

[2]

超低介电常数的SiCOH薄膜及其制造方法 [P].

S·M·盖茨 ;

A·格里尔 .

中国专利 :CN1787881A ,2006-06-14

[3]

一种超低介电常数薄膜及预防超低介电常数薄膜损伤的方法 [P].

徐强 ;

张文广 ;

郑春生 ;

陈玉文 .

中国专利 :CN102412142A ,2012-04-11

[4]

预防超低介电常数薄膜损伤的方法 [P].

徐强 ;

张文广 ;

郑春生 ;

陈玉文 .

中国专利 :CN102427053A ,2012-04-25

[5]

超低介电常数薄膜铜互连的制作方法 [P].

陈玉文 .

中国专利 :CN102364669A ,2012-02-29

[6]

超低介电常数薄膜铜互连结构及其制作方法 [P].

陈玉文 ;

张文广 ;

徐强 ;

郑春生 .

中国专利 :CN102420212A ,2012-04-18

[7]

超低介电常数薄膜铜互连的制作方法 [P].

陈玉文 .

中国专利 :CN102324403A ,2012-01-18

[8]

超低介电常数薄膜铜互连的制作方法 [P].

陈玉文 .

中国专利 :CN102315163A ,2012-01-11

[9]

超低介电常数薄膜铜互连的制作方法 [P].

陈玉文 ;

黄晓橹 ;

谢欣云 .

中国专利 :CN102420179B ,2012-04-18

[10]

一种超低介电常数材料薄膜及其制备方法 [P].

丁士进 ;

孟庆伟 ;

蒋涛 ;

张卫 .

中国专利 :CN102683275A ,2012-09-19

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