超低介电常数薄膜铜互连结构及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110274608.X

申请日：

2011-09-15

公开(公告)号：

CN102420212A

公开(公告)日：

2012-04-18

发明(设计)人：

陈玉文张文广徐强郑春生

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路497号

IPC主分类号：

H01L23532

IPC分类号：

H01L21768

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

陆花

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-04-18	公开	公开
2012-05-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101256118206 IPC(主分类):H01L 23/532 专利申请号:201110274608X 申请日:20110915
2013-12-18	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101681655998 IPC(主分类):H01L 23/532 专利申请号:201110274608X 申请公布日:20120418

共 50 条

[1]

超低介电常数薄膜铜互连的制作方法 [P].

陈玉文 .

中国专利 :CN102324403A ,2012-01-18

[2]

超低介电常数薄膜铜互连的制作方法 [P].

陈玉文 .

中国专利 :CN102315163A ,2012-01-11

[3]

超低介电常数薄膜铜互连的制作方法 [P].

陈玉文 ;

黄晓橹 ;

谢欣云 .

中国专利 :CN102420179B ,2012-04-18

[4]

超低介电常数薄膜铜互连的制作方法 [P].

陈玉文 .

中国专利 :CN102364669A ,2012-02-29

[5]

铜互连结构及其制作方法 [P].

赵宇航 ;

康晓旭 .

中国专利 :CN102376684B ,2012-03-14

[6]

铜互连结构的制作方法 [P].

陈玉文 ;

徐强 ;

郑春生 ;

张文广 .

中国专利 :CN102324400A ,2012-01-18

[7]

铜互连结构的制作方法 [P].

洪明杰 ;

贾晓峰 ;

陈献龙 .

中国专利 :CN115036270A ,2022-09-09

[8]

铜互连结构的制作方法 [P].

陈玉文 ;

黄晓橹 ;

谢欣云 .

中国专利 :CN102324401B ,2012-01-18

[9]

铜互连结构及其制作方法 [P].

拉比尔·伊斯拉姆 ;

阿乌格里诺斯·V·格拉特斯 ;

克文·卢卡斯 ;

斯坦利·M·费里皮克 ;

拉纳思·温卡特拉曼 .

中国专利 :CN1232291A ,1999-10-20

[10]

超低介电常数薄膜及其制造方法 [P].

汪钉崇 .

中国专利 :CN1716547A ,2006-01-04

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