超低介电常数薄膜铜互连的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110274210.6

申请日：

2011-09-15

公开(公告)号：

CN102364669A

公开(公告)日：

2012-02-29

发明(设计)人：

陈玉文

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路497号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

陆花

法律状态：

著录事项变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-03-21	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101302722952 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2011102742106 变更事项:发明人变更前:陈玉文变更后:陈玉文;郑春生;徐强;张文广
2014-07-02	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101702492439 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2011102742106 申请公布日:20120229
2012-02-29	公开	公开
2012-04-11	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101222310080 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2011102742106 申请日:20110915

共 50 条

[1]

超低介电常数薄膜铜互连的制作方法 [P].

陈玉文 ;

黄晓橹 ;

谢欣云 .

中国专利 :CN102420179B ,2012-04-18

[2]

超低介电常数薄膜铜互连的制作方法 [P].

陈玉文 .

中国专利 :CN102315163A ,2012-01-11

[3]

超低介电常数薄膜铜互连的制作方法 [P].

陈玉文 .

中国专利 :CN102324403A ,2012-01-18

[4]

超低介电常数薄膜铜互连结构及其制作方法 [P].

陈玉文 ;

张文广 ;

徐强 ;

郑春生 .

中国专利 :CN102420212A ,2012-04-18

[5]

抗反射涂层填充式超低介电常数之铜互连制造方法 [P].

黄君 ;

毛智彪 ;

张瑜 .

中国专利 :CN103346118B ,2013-10-09

[6]

一种超低介电常数薄膜的制作方法 [P].

曾绍海 ;

李铭 .

中国专利 :CN104319259B ,2015-01-28

[7]

超低介电常数薄膜及其制造方法 [P].

汪钉崇 .

中国专利 :CN1716547A ,2006-01-04

[8]

一种超低介电常数薄膜及预防超低介电常数薄膜损伤的方法 [P].

徐强 ;

张文广 ;

郑春生 ;

陈玉文 .

中国专利 :CN102412142A ,2012-04-11

[9]

铜互连的制作方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN103187363B ,2013-07-03

[10]

预防超低介电常数薄膜损伤的方法 [P].

徐强 ;

张文广 ;

郑春生 ;

陈玉文 .

中国专利 :CN102427053A ,2012-04-25

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