一种超低介电常数薄膜的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410593456.3

申请日：

2014-10-29

公开(公告)号：

CN104319259B

公开(公告)日：

2015-01-28

发明(设计)人：

曾绍海李铭

申请人：

申请人地址：

201210 上海市浦东新区上海浦东张江高斯路497号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275

代理人：

吴世华;林彦之

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-08-05	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101619466989 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2014105934563 申请日:20141029
2019-01-18	授权	授权
2015-01-28	公开	公开

共 50 条

[1]

超低介电常数薄膜铜互连的制作方法 [P].

陈玉文 .

中国专利 :CN102324403A ,2012-01-18

[2]

超低介电常数薄膜铜互连的制作方法 [P].

陈玉文 .

中国专利 :CN102364669A ,2012-02-29

[3]

超低介电常数薄膜铜互连的制作方法 [P].

陈玉文 .

中国专利 :CN102315163A ,2012-01-11

[4]

超低介电常数薄膜铜互连的制作方法 [P].

陈玉文 ;

黄晓橹 ;

谢欣云 .

中国专利 :CN102420179B ,2012-04-18

[5]

一种超低介电常数薄膜及预防超低介电常数薄膜损伤的方法 [P].

徐强 ;

张文广 ;

郑春生 ;

陈玉文 .

中国专利 :CN102412142A ,2012-04-11

[6]

超低介电常数薄膜铜互连结构及其制作方法 [P].

陈玉文 ;

张文广 ;

徐强 ;

郑春生 .

中国专利 :CN102420212A ,2012-04-18

[7]

预防超低介电常数薄膜损伤的方法 [P].

徐强 ;

张文广 ;

郑春生 ;

陈玉文 .

中国专利 :CN102427053A ,2012-04-25

[8]

超低介电常数薄膜及其制造方法 [P].

汪钉崇 .

中国专利 :CN1716547A ,2006-01-04

[9]

超低介电常数层的制作方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN102881630A ,2013-01-16

[10]

超低介电常数层的制作方法 [P].

周鸣 ;

洪中山 .

中国专利 :CN102881584A ,2013-01-16

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