一种超低介电常数绝缘薄膜及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410243600.0

申请日：

2014-06-04

公开(公告)号：

CN104008997A

公开(公告)日：

2014-08-27

发明(设计)人：

丁士进丁子君张卫

申请人：

申请人地址：

200433 上海市杨浦区邯郸路220号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

C23C16513 C23C1644

代理机构：

上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249

代理人：

张静洁;贾慧琴

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-11-24	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/768 申请公布日:20140827
2014-12-03	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101590377292 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2014102436000 申请日:20140604
2014-08-27	公开	公开

共 50 条

[1]

一种低介电常数绝缘薄膜及其制备方法 [P].

丁士进 ;

钱可嘉 ;

张卫 .

中国专利 :CN101651131A ,2010-02-17

[2]

一种超低介电常数材料薄膜及其制备方法 [P].

丁士进 ;

孟庆伟 ;

蒋涛 ;

张卫 .

中国专利 :CN102683275A ,2012-09-19

[3]

一种超低介电常数材料薄膜及其制备方法 [P].

丁士进 ;

孟庆伟 ;

杨春晓 ;

张卫 .

中国专利 :CN102157439A ,2011-08-17

[4]

超低介电常数薄膜及其制造方法 [P].

汪钉崇 .

中国专利 :CN1716547A ,2006-01-04

[5]

一种超低介电常数薄膜及预防超低介电常数薄膜损伤的方法 [P].

徐强 ;

张文广 ;

郑春生 ;

陈玉文 .

中国专利 :CN102412142A ,2012-04-11

[6]

高介电常数薄膜-氧化铝叠层结构绝缘薄膜及其制备方法 [P].

彭娟 ;

胡少坚 .

中国专利 :CN105161415B ,2015-12-16

[7]

一种多孔超低介电常数材料薄膜及其制备方法 [P].

付爽 ;

丁士进 ;

张卫 .

中国专利 :CN101789418A ,2010-07-28

[8]

一种超低介电常数聚酰亚胺薄膜及其制备方法 [P].

马素德 ;

闵忠华 ;

王岩 ;

张勤勇 .

中国专利 :CN104157630B ,2014-11-19

[9]

一种低介电常数薄膜的制备方法 [P].

姜标 .

中国专利 :CN104498900A ,2015-04-08

[10]

超低介电常数的SiCOH薄膜及其制造方法 [P].

S·M·盖茨 ;

A·格里尔 .

中国专利 :CN1787881A ,2006-06-14

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