曝光装置、曝光方法及元件制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910163695.4

申请日：

2005-06-09

公开(公告)号：

CN101639631A

公开(公告)日：

2010-02-03

发明(设计)人：

长坂博之奥山猛

申请人：

申请人地址：

日本东京都千代田区丸之内三丁目2番3号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司

代理人：

杨俊波

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-28	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20050609 授权公告日:20120718 终止日期:20200609
2012-07-18	授权	授权
2010-03-24	实质审查的生效	实质审查的生效
2010-02-03	公开	公开

共 50 条

[1]

曝光装置、曝光方法、及元件制造方法 [P].

荒井大 .

中国专利 :CN105652603A ,2016-06-08

[2]

曝光装置、曝光方法及元件制造方法 [P].

长坂博之 ;

奥山猛 .

中国专利 :CN1981365A ,2007-06-13

[3]

曝光装置、曝光方法、及元件制造方法 [P].

荒井大 .

中国专利 :CN105301918A ,2016-02-03

[4]

曝光装置、曝光方法、及元件制造方法 [P].

荒井大 .

中国专利 :CN105487351A ,2016-04-13

[5]

曝光装置、曝光方法及元件制造方法 [P].

西井康文 .

中国专利 :CN1954408B ,2007-04-25

[6]

曝光装置及元件制造方法 [P].

长坂博之 ;

奥山猛 .

中国专利 :CN102736446B ,2012-10-17

[7]

曝光装置及曝光方法、以及元件制造方法 [P].

依田安史 .

中国专利 :CN108919609A ,2018-11-30

[8]

曝光装置及曝光方法、以及元件制造方法 [P].

依田安史 .

中国专利 :CN104919371B ,2015-09-16

[9]

曝光装置、曝光方法、元件制造方法及维护方法 [P].

白石健一 .

中国专利 :CN103439863B ,2013-12-11

[10]

曝光方法、曝光装置及元件制造方法 [P].

奈良圭 .

中国专利 :CN1983037B ,2007-06-20

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