一种碳自掺杂且浓度呈梯度分布的CN薄膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011427678.X

申请日：

2020-12-09

公开(公告)号：

CN112626470A

公开(公告)日：

2021-04-09

发明(设计)人：

沈洪雪李刚姚婷婷王天齐金克武

申请人：

申请人地址：

233010 安徽省蚌埠市禹会区涂山路1047号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C1406 C23C1458 C23C1454

代理机构：

安徽省蚌埠博源专利商标事务所(普通合伙) 34113

代理人：

陈俊

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20201209
2021-04-09	公开	公开

共 50 条

[1]

一种碳自掺杂氮化碳光电薄膜的制备方法 [P].

沈洪雪 ;

李刚 ;

金克武 ;

王天齐 .

中国专利 :CN110983273A ,2020-04-10

[2]

一种CN薄膜的复合制备方法 [P].

彭寿 ;

沈洪雪 ;

姚婷婷 ;

杨勇 ;

李刚 .

中国专利 :CN108754421A ,2018-11-06

[3]

梯度自掺杂纯相多元金属氧化物薄膜的磁控溅射制备方法 [P].

汪福宪 ;

郭鹏然 ;

梁维新 .

中国专利 :CN109576659A ,2019-04-05

[4]

一种孔径呈梯度分布的多孔支架及其制备方法 [P].

袁晓燕 ;

唐功文 .

中国专利 :CN102018993B ,2011-04-20

[5]

一种高透、高阻W掺杂CN薄膜的制备方法 [P].

沈洪雪 ;

金克武 ;

甘治平 ;

李刚 ;

姚婷婷 ;

杨勇 .

中国专利 :CN107502868A ,2017-12-22

[6]

一种多层梯度透光掺杂AZO薄膜的制备方法 [P].

沈洪雪 ;

姚婷婷 ;

杨勇 ;

李刚 .

中国专利 :CN108707866A ,2018-10-26

[7]

一种浓度梯度掺杂的激光透明陶瓷及其制备方法 [P].

张乐 ;

陈冠男 ;

祝吕 ;

刘明源 ;

魏聪 ;

邵岑 ;

康健 ;

陈浩 .

中国专利 :CN117209275B ,2025-11-28

[8]

一种高电阻率CN薄膜的制备方法 [P].

彭寿 ;

沈洪雪 ;

金克武 ;

甘治平 ;

李刚 ;

姚婷婷 ;

杨勇 .

中国专利 :CN107475668A ,2017-12-15

[9]

一种离子束沉积制备CN薄膜的方法 [P].

沈洪雪 ;

倪嘉 ;

姚婷婷 ;

杨勇 ;

李刚 .

中国专利 :CN108642465A ,2018-10-12

[10]

一种氧含量呈梯度变化的AlCrVTiSiON纳米梯度涂层的制备方法 [P].

王铁钢 ;

张蕊 ;

熊龙宇 ;

刘艳梅 ;

范其香 .

中国专利 :CN118374768A ,2024-07-23

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