转移基板及转移装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110031332.6

申请日：

2021-01-11

公开(公告)号：

CN112768399B

公开(公告)日：

2021-05-07

发明(设计)人：

邵冬梅

申请人：

申请人地址：

518132 广东省深圳市光明新区公明街道塘明大道9-2号

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

H01L3300

代理机构：

深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570

代理人：

远明

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-07	公开	公开
2021-05-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20210111
2022-10-04	授权	授权

共 50 条

[1]

基板转移装置 [P].

金正健 ;

金善吉 ;

金南训 ;

金锺大 ;

高元一 ;

苏秉镐 ;

孙承京 ;

李起泰 ;

李尚浩 ;

千敏镐 ;

韩应龙 .

中国专利 :CN105993068B ,2016-10-05

[2]

转移基板及制备方法、转移装置、转移方法 [P].

董士豪 ;

麦轩伟 ;

张国才 ;

王大军 ;

闫俊伟 ;

王成飞 .

中国专利 :CN111415899A ,2020-07-14

[3]

基板转移方法以及基板转移装置 [P].

郑求贤 ;

金钟哲 ;

郑镇安 ;

黄喆周 ;

边永燮 .

中国专利 :CN114930515A ,2022-08-19

[4]

一种基板转移装置及基板转移方法 [P].

郭雪松 ;

周国春 ;

程鹏 .

中国专利 :CN108438703A ,2018-08-24

[5]

转移装置及基板处理装置 [P].

吉田大介 .

中国专利 :CN102859677B ,2013-01-02

[6]

转移基板及其制备方法、转移装置 [P].

邵冬梅 .

中国专利 :CN112885764B ,2021-06-01

[7]

转移方法及转移装置 [P].

今井宏一 ;

寺田丰治 .

日本专利 :CN118974953A ,2024-11-15

[8]

转移装置及转移方法 [P].

谢来 .

中国专利 :CN114743916B ,2025-11-28

[9]

转移装置及转移方法 [P].

卢马才 .

中国专利 :CN111863694B ,2020-10-30

[10]

转移装置及转移方法 [P].

陈磊 ;

曹轩 .

中国专利 :CN120529722A ,2025-08-22

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