共 50 条
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转移装置及转移方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010691445.4
申请日：
2020-07-17
公开(公告)号：
CN111863694B
公开(公告)日：
2020-10-30
发明(设计)人：
卢马才
申请人：
申请人地址：
518132 广东省深圳市光明新区公明街道塘明大道9-2号
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
H01L3348
代理机构：
深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570
代理人：
何辉
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-11-17 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20200717 |
| 2020-10-30 | 公开 | 公开 |
| 2022-03-29 | 授权 | 授权 |