基片转移装置及转移方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511417180.8

申请日：

2025-09-29

公开(公告)号：

CN120914152B

公开(公告)日：

2025-12-26

发明(设计)人：

蒋俊南朱远方邱耀武王伟杨雅斌

申请人：

上海新昇半导体科技有限公司太原晋科硅材料技术有限公司

申请人地址：

201306 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区云水路1000号

IPC主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/68

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

张子飞

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-25	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20250929
2025-11-07	公开	公开
2025-12-26	授权	授权

共 50 条

[1]

基片转移装置及转移方法 [P].

蒋俊南 ;

朱远方 ;

邱耀武 ;

王伟 ;

杨雅斌 .

中国专利 :CN120914152A ,2025-11-07

[2]

基片转移装置及基片转移方法 [P].

任晓莹 ;

高裕弟 ;

程清 ;

毛浩浩 ;

朱鹏飞 ;

马志豪 .

中国专利 :CN118053803A ,2024-05-17

[3]

基片转移装置 [P].

边晓东 ;

安稳鹏 ;

刘凯文 ;

李国森 ;

王维桐 .

中国专利 :CN114620447B ,2024-01-26

[4]

基片转移装置 [P].

张大铉 ;

金八坤 .

中国专利 :CN102107779A ,2011-06-29

[5]

基片转移装置 [P].

金超 ;

董洪波 ;

付文磊 ;

刘凯 ;

张向飞 .

中国专利 :CN211541265U ,2020-09-22

[6]

基片转移装置 [P].

边晓东 ;

安稳鹏 ;

刘凯文 ;

李国森 ;

王维桐 .

中国专利 :CN114620447A ,2022-06-14

[7]

基片转移装置 [P].

张大铉 ;

金八坤 .

中国专利 :CN101330031A ,2008-12-24

[8]

转移方法及转移装置 [P].

今井宏一 ;

寺田丰治 .

日本专利 :CN118974953A ,2024-11-15

[9]

转移装置及转移方法 [P].

谢来 .

中国专利 :CN114743916B ,2025-11-28

[10]

转移装置及转移方法 [P].

卢马才 .

中国专利 :CN111863694B ,2020-10-30

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