共 50 条
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转移方法及转移装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202380031192.X
申请日：
2023-03-28
公开(公告)号：
CN118974953A
公开(公告)日：
2024-11-15
发明(设计)人：
今井宏一
寺田丰治
申请人：
东丽工程株式会社
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L33/48
IPC分类号：
H01L21/67
H01L21/683
H01L33/00
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
黄志坚
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-11-15 | 公开 | 公开 |
| 2025-09-26 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回IPC(主分类):H01L 33/48申请公布日:20241115 |