含氟化合物、含氟聚合物及其制造方法以及含该聚合物的抗蚀组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200480021330.3

申请日：

2004-07-29

公开(公告)号：

CN1826358A

公开(公告)日：

2006-08-30

发明(设计)人：

武部洋子金子勇

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

C08F3620

IPC分类号：

C08L4700 C07C4317 C07C43172 C07C6965 G03F7039

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司

代理人：

徐迅

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-08-30	公开	公开
2012-11-07	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101459028698 IPC(主分类):C08F 36/20 专利申请号:2004800213303 申请公布日:20060830
2006-10-25	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

含氟化合物、含氟聚合物和含氟树脂组合物 [P].

佐藤数行 ;

板垣刚之 ;

伊丹康雄 .

中国专利 :CN102516459B ,2012-06-27

[2]

含氟化合物、含氟聚合物及其制造方法 [P].

金子勇 ;

武部洋子 .

中国专利 :CN1491242A ,2004-04-21

[3]

含氟化合物、含氟聚合物及其制造方法 [P].

武部洋子 ;

横小路修 .

中国专利 :CN100384799C ,2006-11-29

[4]

含氟化合物、含氟聚合物及其制备方法 [P].

儿玉俊一 ;

金子勇 ;

横小路修 ;

冈田伸治 ;

武部洋子 ;

川口泰秀 .

中国专利 :CN1675268A ,2005-09-28

[5]

含氟化合物、活性聚合引发剂、含氟聚合物、含氟聚合物的制造方法及抗蚀剂组合物 [P].

清水良平 ;

高野启 .

日本专利 :CN107848947B ,2025-06-20

[6]

含氟化合物、活性聚合引发剂、含氟聚合物、含氟聚合物的制造方法及抗蚀剂组合物 [P].

清水良平 ;

高野启 .

中国专利 :CN107848947A ,2018-03-27

[7]

含氟化合物及含氟聚合物 [P].

星野泰辉 .

中国专利 :CN102596892B ,2012-07-18

[8]

含氟化合物及含氟聚合物 [P].

星野泰辉 .

中国专利 :CN102812057B ,2012-12-05

[9]

含氟化合物及含氟聚合物 [P].

星野泰辉 .

中国专利 :CN102596891A ,2012-07-18

[10]

含氟化合物、含氟聚合物、抗蚀剂组合物、抗蚀剂保护膜组合物 [P].

武部洋子 ;

江田昌隆 ;

横小路修 ;

佐佐木崇 .

中国专利 :CN1993393A ,2007-07-04

← 1 2 3 4 5 →