含氟化合物、活性聚合引发剂、含氟聚合物、含氟聚合物的制造方法及抗蚀剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201680043352.2

申请日：

2016-07-14

公开(公告)号：

CN107848947B

公开(公告)日：

2025-06-20

发明(设计)人：

清水良平高野启

申请人：

DIC株式会社

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C07C69/63

IPC分类号：

C07C67/14 C08F4/40 C08F20/18 C08G65/332 C08G65/337

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;李茂家

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-20	授权	授权

共 50 条

[1]

含氟化合物、活性聚合引发剂、含氟聚合物、含氟聚合物的制造方法及抗蚀剂组合物 [P].

清水良平 ;

高野启 .

中国专利 :CN107848947A ,2018-03-27

[2]

含氟化合物、含氟聚合物及其制造方法以及含该聚合物的抗蚀组合物 [P].

武部洋子 ;

金子勇 .

中国专利 :CN1826358A ,2006-08-30

[3]

含氟化合物、含氟聚合物及其制造方法 [P].

金子勇 ;

武部洋子 .

中国专利 :CN1491242A ,2004-04-21

[4]

含氟化合物、含氟聚合物和含氟树脂组合物 [P].

佐藤数行 ;

板垣刚之 ;

伊丹康雄 .

中国专利 :CN102516459B ,2012-06-27

[5]

含氟聚合物用引发剂组合物以及含氟聚合物的制造方法 [P].

相田茂 ;

八木启介 ;

大继聪 .

中国专利 :CN107922526A ,2018-04-17

[6]

含氟化合物、含氟聚合物及其制造方法 [P].

武部洋子 ;

横小路修 .

中国专利 :CN100384799C ,2006-11-29

[7]

含氟化合物、含氟聚合物、抗蚀剂组合物、抗蚀剂保护膜组合物 [P].

武部洋子 ;

江田昌隆 ;

横小路修 ;

佐佐木崇 .

中国专利 :CN1993393A ,2007-07-04

[8]

含氟化合物及含氟聚合物 [P].

星野泰辉 .

中国专利 :CN102596892B ,2012-07-18

[9]

含氟化合物及含氟聚合物 [P].

星野泰辉 .

中国专利 :CN102812057B ,2012-12-05

[10]

含氟化合物及含氟聚合物 [P].

星野泰辉 .

中国专利 :CN102596891A ,2012-07-18

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