含氟化合物、活性聚合引发剂、含氟聚合物、含氟聚合物的制造方法及抗蚀剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201680043352.2

申请日：

2016-07-14

公开(公告)号：

CN107848947A

公开(公告)日：

2018-03-27

发明(设计)人：

清水良平高野启

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C07C6963

IPC分类号：

C07C6714 C08F440 C08F2018 C08G65332 C08G65337

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;李茂家

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-03-27	公开	公开
2018-04-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C07C 69/63 申请日:20160714

共 50 条

[1]

含氟化合物、活性聚合引发剂、含氟聚合物、含氟聚合物的制造方法及抗蚀剂组合物 [P].

清水良平 ;

高野启 .

日本专利 :CN107848947B ,2025-06-20

[2]

含氟化合物、含氟聚合物及其制造方法以及含该聚合物的抗蚀组合物 [P].

武部洋子 ;

金子勇 .

中国专利 :CN1826358A ,2006-08-30

[3]

含氟化合物、含氟聚合物及其制造方法 [P].

金子勇 ;

武部洋子 .

中国专利 :CN1491242A ,2004-04-21

[4]

含氟化合物、含氟聚合物和含氟树脂组合物 [P].

佐藤数行 ;

板垣刚之 ;

伊丹康雄 .

中国专利 :CN102516459B ,2012-06-27

[5]

含氟聚合物用引发剂组合物以及含氟聚合物的制造方法 [P].

相田茂 ;

八木启介 ;

大继聪 .

中国专利 :CN107922526A ,2018-04-17

[6]

含氟化合物、含氟聚合物及其制造方法 [P].

武部洋子 ;

横小路修 .

中国专利 :CN100384799C ,2006-11-29

[7]

含氟化合物、含氟聚合物、抗蚀剂组合物、抗蚀剂保护膜组合物 [P].

武部洋子 ;

江田昌隆 ;

横小路修 ;

佐佐木崇 .

中国专利 :CN1993393A ,2007-07-04

[8]

含氟化合物及含氟聚合物 [P].

星野泰辉 .

中国专利 :CN102596892B ,2012-07-18

[9]

含氟化合物及含氟聚合物 [P].

星野泰辉 .

中国专利 :CN102812057B ,2012-12-05

[10]

含氟化合物及含氟聚合物 [P].

星野泰辉 .

中国专利 :CN102596891A ,2012-07-18

← 1 2 3 4 5 →