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一种适用于大尺寸硅片的石英舟

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022927160.4
申请日：
2020-12-09
公开(公告)号：
CN213635929U
公开(公告)日：
2021-07-06
发明(设计)人：
朱德成 芮瞻飞 仇慧生
申请人：
申请人地址：
214200 江苏省无锡市经济开发区文庄路20号
IPC主分类号：
H01L21673
IPC分类号：
H01L3118
代理机构：
天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213
代理人：
栾志超
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-07-06 授权 授权
共 50 条
[1]
一种适用于承载大尺寸硅片的石英舟 [P]. 
吴慧敏 ;
林纲正 ;
陈刚 .
中国专利 :CN210837690U ,2020-06-23
[2]
一种适用于大尺寸硅片的水平石英舟 [P]. 
吴慧敏 ;
林纲正 ;
陈刚 .
中国专利 :CN211045395U ,2020-07-17
[3]
一种适用于承载大尺寸硅片的石墨舟 [P]. 
沈永臻 ;
林纲正 ;
陈刚 .
中国专利 :CN211645378U ,2020-10-09
[4]
一种适用于大尺寸硅片的石墨框 [P]. 
仇慧生 .
中国专利 :CN210866139U ,2020-06-26
[5]
一种适用于高温扩散的石英舟 [P]. 
柳旭宁 ;
雷有林 ;
刘洪东 ;
高艳飞 ;
宋标 .
中国专利 :CN216311733U ,2022-04-15
[6]
一种适用于大尺寸硅片的传输钢带 [P]. 
丁文学 ;
耿志飞 .
中国专利 :CN214705877U ,2021-11-12
[7]
一种适用于大尺寸硅片的浸泡装置 [P]. 
于悦 ;
马晓婷 ;
王立哲 ;
贾斌 .
中国专利 :CN220324419U ,2024-01-09
[8]
一种适用于大尺寸硅片的传输装置 [P]. 
仇慧生 ;
芮瞻飞 ;
蒋文旭 ;
陆古相 ;
谢程 .
中国专利 :CN213635936U ,2021-07-06
[9]
一种适用于大尺寸硅片的探针排 [P]. 
仇慧生 .
中国专利 :CN211785693U ,2020-10-27
[10]
一种适用于大尺寸硅片的烧结防止变形的结构 [P]. 
刘大伟 .
中国专利 :CN211926491U ,2020-11-13
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