一种适用于承载大尺寸硅片的石墨舟

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201922427513.1

申请日：

2019-12-26

公开(公告)号：

CN211645378U

公开(公告)日：

2020-10-09

发明(设计)人：

沈永臻林纲正陈刚

申请人：

申请人地址：

322000 浙江省金华市义乌市苏溪镇好派路655号

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

H01L21673 H01L3118

代理机构：

金华智芽专利代理事务所(普通合伙) 33307

代理人：

陈迪

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-09	授权	授权

共 50 条

[1]

一种适用于承载大尺寸硅片的石英舟 [P].

吴慧敏 ;

林纲正 ;

陈刚 .

中国专利 :CN210837690U ,2020-06-23

[2]

用于大尺寸硅片镀膜的石墨舟舟片及石墨舟 [P].

徐义兰 ;

林纲正 ;

陈刚 .

中国专利 :CN213660362U ,2021-07-09

[3]

一种适用于大尺寸硅片的石英舟 [P].

朱德成 ;

芮瞻飞 ;

仇慧生 .

中国专利 :CN213635929U ,2021-07-06

[4]

一种适用于大尺寸硅片的水平石英舟 [P].

吴慧敏 ;

林纲正 ;

陈刚 .

中国专利 :CN211045395U ,2020-07-17

[5]

一种适用于大尺寸硅片的石墨框 [P].

仇慧生 .

中国专利 :CN210866139U ,2020-06-26

[6]

一种适合大尺寸硅片的石墨舟片 [P].

杨飞飞 ;

刘东林 ;

张波 ;

李雪方 ;

梁玲 .

中国专利 :CN222008043U ,2024-11-15

[7]

一种适用于光伏超大硅片的石墨舟 [P].

刘世强 ;

王斯海 ;

姚骞 ;

王亚楠 ;

王广华 ;

李冬玫 .

中国专利 :CN212676229U ,2021-03-09

[8]

一种通用且能匹配大尺寸硅片的石墨舟及其石墨舟片 [P].

余波 ;

郑方渊 ;

张华 ;

冯晓倩 .

中国专利 :CN209357747U ,2019-09-06

[9]

一种适用于石墨舟的卡点及石墨舟 [P].

杨冰 ;

刘恩华 ;

费正洪 ;

党继东 .

中国专利 :CN207868176U ,2018-09-14

[10]

一种适用于光伏超大硅片的石墨舟 [P].

刘世强 ;

王斯海 ;

姚骞 ;

王亚楠 ;

王广华 ;

李冬玫 .

中国专利 :CN111816595A ,2020-10-23

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