一种适用于光伏超大硅片的石墨舟

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010739221.6

申请日：

2020-07-28

公开(公告)号：

CN111816595A

公开(公告)日：

2020-10-23

发明(设计)人：

刘世强王斯海姚骞王亚楠王广华李冬玫

申请人：

申请人地址：

620041 四川省眉山市东坡区修文镇进修路8号附1号

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230

代理人：

邓芸

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/673 申请日:20200728
2020-10-23	公开	公开

共 50 条

[1]

一种适用于光伏超大硅片的石墨舟 [P].

刘世强 ;

王斯海 ;

姚骞 ;

王亚楠 ;

王广华 ;

李冬玫 .

中国专利 :CN212676229U ,2021-03-09

[2]

一种适用于导电薄膜沉积的石墨舟 [P].

南志华 ;

孙海龙 ;

李文红 .

中国专利 :CN115094401A ,2022-09-23

[3]

一种适用于导电薄膜沉积的石墨舟 [P].

南志华 ;

孙海龙 ;

李文红 .

中国专利 :CN115094401B ,2024-03-01

[4]

一种适用于石墨舟的卡点及石墨舟 [P].

杨冰 ;

刘恩华 ;

费正洪 ;

党继东 .

中国专利 :CN207868176U ,2018-09-14

[5]

一种适用于承载大尺寸硅片的石墨舟 [P].

沈永臻 ;

林纲正 ;

陈刚 .

中国专利 :CN211645378U ,2020-10-09

[6]

一种石墨舟舟片、石墨舟及硅片镀膜设备 [P].

高凤海 ;

费正洪 ;

李栋 .

中国专利 :CN209418475U ,2019-09-20

[7]

一种适用于石墨舟卡点更换桌 [P].

张琳 ;

雷有林 ;

汪永婷 ;

董飞 .

中国专利 :CN221352711U ,2024-07-16

[8]

一种石墨舟和石墨舟镀膜设备 [P].

郑峰峰 .

中国专利 :CN213184235U ,2021-05-11

[9]

一种石墨舟 [P].

王亚楠 ;

施佳伟 ;

缪杰 .

中国专利 :CN217134331U ,2022-08-05

[10]

一种通用且能匹配大尺寸硅片的石墨舟及其石墨舟片 [P].

余波 ;

郑方渊 ;

张华 ;

冯晓倩 .

中国专利 :CN209357747U ,2019-09-06

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