刻蚀方法及刻蚀设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110265900.9

申请日：

2021-03-11

公开(公告)号：

CN113113302A

公开(公告)日：

2021-07-13

发明(设计)人：

胡家艳孔祥健吴凡

申请人：

申请人地址：

430074 湖北省武汉市洪山区邮科院路88号

IPC主分类号：

H01L21311

IPC分类号：

H01L2167 H01J37305 H01J3732

代理机构：

北京派特恩知识产权代理有限公司 11270

代理人：

崔晓岚;张颖玲

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/311 申请日:20210311
2021-07-13	公开	公开

共 50 条

[1]

刻蚀方法及刻蚀设备 [P].

胡家艳 ;

孔祥健 ;

吴凡 .

中国专利 :CN113113302B ,2024-05-03

[2]

刻蚀设备及刻蚀方法 [P].

张军 ;

徐惠芬 .

中国专利 :CN113889395A ,2022-01-04

[3]

刻蚀设备及刻蚀方法 [P].

关超阳 ;

罗东 ;

刘健 ;

金娇 .

中国专利 :CN117457525A ,2024-01-26

[4]

刻蚀方法及刻蚀设备 [P].

杨晓隆 ;

童玲 .

中国专利 :CN118098950A ,2024-05-28

[5]

刻蚀设备及刻蚀方法 [P].

张言彩 .

中国专利 :CN119725162A ,2025-03-28

[6]

介质层刻蚀方法及刻蚀设备 [P].

杨婷 ;

张忠宇 ;

姜竹林 .

中国专利 :CN120600628A ,2025-09-05

[7]

刻蚀腔体、刻蚀装置及刻蚀方法 [P].

李国强 ;

衣新燕 .

中国专利 :CN118073250B ,2024-07-09

[8]

刻蚀腔体、刻蚀装置及刻蚀方法 [P].

李国强 ;

衣新燕 .

中国专利 :CN118073250A ,2024-05-24

[9]

刻蚀设备以及晶边刻蚀方法 [P].

陈峰 ;

李天慧 ;

黄晓橹 .

中国专利 :CN109148252A ,2019-01-04

[10]

刻蚀装置及刻蚀方法 [P].

张君 ;

刘利坚 ;

谢秋实 ;

李东三 .

中国专利 :CN105336563A ,2016-02-17

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