共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
刻蚀设备及刻蚀方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411823083.4
申请日：
2024-12-10
公开(公告)号：
CN119725162A
公开(公告)日：
2025-03-28
发明(设计)人：
张言彩
申请人：
浙江创芯集成电路有限公司
申请人地址：
311200 浙江省杭州市萧山区宁围街道平澜路2118号浙江大学杭州国际科创中心水博园区11幢4层-5层（自主申报）
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/687
H01J37/32
代理机构：
上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327
代理人：
李成龙
法律状态：
公开
国省代码：
安徽省
宣城市
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-03-28 | 公开 | 公开 |
| 2025-04-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20241210 |