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刻蚀设备及自动控制刻蚀终点的刻蚀方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810301838.2
申请日：
2018-04-04
公开(公告)号：
CN108517521A
公开(公告)日：
2018-09-11
发明(设计)人：
韦显旺
申请人：
申请人地址：
518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
IPC主分类号：
C23F108
IPC分类号：
代理机构：
深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304
代理人：
孙伟峰;阳志全
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-10-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/08 申请日:20180404 |
| 2018-09-11 | 公开 | 公开 |
| 2020-04-10 | 授权 | 授权 |
| 2021-01-08 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23F 1/08 变更事项:专利权人 变更前:深圳市华星光电技术有限公司 变更后:TCL华星光电技术有限公司 变更事项:地址 变更前:518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号 变更后:518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号 |