共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种格栅式电极板等离子处理真空腔
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201721722585.3
申请日：
2017-12-12
公开(公告)号：
CN207624654U
公开(公告)日：
2018-07-17
发明(设计)人：
张斌
申请人：
申请人地址：
215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇昆嘉路2161号3号房
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
B08B700
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-07-17 | 授权 | 授权 |