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等离子处理真空腔体结构

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010263300.4
申请日：
2020-04-07
公开(公告)号：
CN111326398B
公开(公告)日：
2025-02-18
发明(设计)人：
罗弦
申请人：
深圳市诚峰智造有限公司
申请人地址：
518000 广东省深圳市宝安区沙井街道洪田孖宝工业区15栋3楼
IPC主分类号：
H01J37/32
IPC分类号：
代理机构：
深圳市博锐专利事务所 44275
代理人：
王芳
法律状态：
授权
国省代码：
广东省 深圳市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-02-18 授权 授权
共 50 条
[1]
等离子处理真空腔体结构 [P]. 
罗弦 .
中国专利 :CN111326398A ,2020-06-23
[2]
等离子处理真空腔体结构 [P]. 
罗弦 .
中国专利 :CN211455641U ,2020-09-08
[3]
等离子处理真空腔体结构 [P]. 
刘锋 ;
张洪彬 .
中国专利 :CN217768290U ,2022-11-08
[4]
一种等离子处理真空腔体结构 [P]. 
杨玉飞 .
中国专利 :CN215731575U ,2022-02-01
[5]
等离子真空腔体设计结构 [P]. 
王晓东 ;
马飞鹏 .
中国专利 :CN210790926U ,2020-06-19
[6]
翻转滑动式腔门结构、等离子真空腔体及等离子处理设备 [P]. 
蔡刚强 ;
王琛璐 .
中国专利 :CN110184590A ,2019-08-30
[7]
翻转滑动式腔门结构、等离子真空腔体及等离子处理设备 [P]. 
蔡刚强 ;
王琛璐 .
中国专利 :CN210481516U ,2020-05-08
[8]
微波等离子清洗机真空腔体结构 [P]. 
杨正朝 ;
陈振余 ;
梁景 .
中国专利 :CN214898326U ,2021-11-26
[9]
一种等离子清洗设备的真空腔体结构 [P]. 
李琦 .
中国专利 :CN217077767U ,2022-07-29
[10]
一种无焊缝等离子真空腔体 [P]. 
郑志伟 ;
廖文晗 ;
陈磊 ;
赵义党 .
中国专利 :CN210168276U ,2020-03-20
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