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翻转滑动式腔门结构、等离子真空腔体及等离子处理设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910561423.3
申请日：
2019-06-26
公开(公告)号：
CN110184590A
公开(公告)日：
2019-08-30
发明(设计)人：
蔡刚强
王琛璐
申请人：
申请人地址：
215129 江苏省苏州市高新区金山路198号
IPC主分类号：
C23C1654
IPC分类号：
H01J3732
代理机构：
北京东正专利代理事务所(普通合伙) 11312
代理人：
刘瑜冬
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-08-30 | 公开 | 公开 |
| 2019-09-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/54 申请日:20190626 |