高蚀刻速率无残留酸性铝蚀刻液生产装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921371751.9

申请日：

2019-08-22

公开(公告)号：

CN210787187U

公开(公告)日：

2020-06-19

发明(设计)人：

梁小朝连杰姚浩川黄德新

申请人：

申请人地址：

231600 安徽省合肥市肥东县合肥循环经济示范园长松路东

IPC主分类号：

B01F1310

IPC分类号：

B01F1500 C23F120

代理机构：

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法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-11	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):B01F 13/10 变更事项:专利权人变更前:合肥中聚合臣电子材料有限公司变更后:合肥中聚和成电子材料有限公司变更事项:地址变更前:231600 安徽省合肥市肥东县合肥循环经济示范园长松路东变更后:231600 安徽省合肥市肥东县合肥循环经济示范园长松路东
2022-06-03	专利实施许可合同备案的生效、变更及注销	专利实施许可合同备案的生效 IPC(主分类):B01F 13/10 合同备案号:X2022980005646 让与人:合肥中聚和成电子材料有限公司受让人:安徽兴泰融资租赁有限责任公司实用新型名称:高蚀刻速率无残留酸性铝蚀刻液生产装置申请日:20190822 授权公告日:20200619 许可种类:独占许可备案日期:20220517
2020-06-19	授权	授权
2022-06-03	专利权质押合同登记的生效、变更及注销	专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):B01F 13/10 登记号:Y2022980005866 登记生效日:20220519 出质人:合肥中聚和成电子材料有限公司质权人:安徽兴泰融资租赁有限责任公司实用新型名称:高蚀刻速率无残留酸性铝蚀刻液生产装置申请日:20190822 授权公告日:20200619

共 50 条

[1]

高蚀刻速率无残留酸性铝蚀刻液生产装置 [P].

戈士勇 .

中国专利 :CN204369992U ,2015-06-03

[2]

高蚀刻速率无残留酸性铝蚀刻液及其制备工艺 [P].

戈士勇 .

中国专利 :CN102925896A ,2013-02-13

[3]

酸性高纯钼铝蚀刻液制备装置 [P].

沈翠芬 ;

戈士勇 ;

盛建伟 .

中国专利 :CN202519334U ,2012-11-07

[4]

再生酸性蚀刻液、酸性蚀刻液及酸性蚀刻液再生方法 [P].

张伟奇 ;

李再强 ;

黄文涛 ;

梁民 .

中国专利 :CN113957440A ,2022-01-21

[5]

一种高蚀刻速率与深宽比的铝蚀刻液制备方法 [P].

黄锣锣 ;

贺兆波 ;

叶瑞 ;

张庭 ;

钟昌东 ;

张演哲 ;

黎鹏飞 ;

刘悦 .

中国专利 :CN115679328A ,2023-02-03

[6]

一种高蚀刻速率与选择比的铝蚀刻液及其制备方法 [P].

李少平 ;

张演哲 ;

贺兆波 ;

张庭 ;

蔡步林 ;

万杨阳 ;

王书萍 ;

冯凯 ;

尹印 .

中国专利 :CN109706455B ,2019-05-03

[7]

酸性蚀刻液 [P].

李再强 ;

黄文涛 ;

梁民 .

中国专利 :CN110438501A ,2019-11-12

[8]

酸性蚀刻液再生方法和酸性蚀刻液再生装置 [P].

梅枝孝道 ;

北川悌也 .

中国专利 :CN1712567A ,2005-12-28

[9]

铝蚀刻液测试装置 [P].

童晨 ;

吴海燕 ;

韩成强 ;

孙元 ;

陈桂红 .

中国专利 :CN215574753U ,2022-01-18

[10]

酸性钼铝钼蚀刻液制备系统 [P].

沈翠芬 ;

戈士勇 ;

盛建伟 .

中国专利 :CN202519335U ,2012-11-07

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