高蚀刻速率无残留酸性铝蚀刻液及其制备工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210379067.1

申请日：

2012-10-09

公开(公告)号：

CN102925896A

公开(公告)日：

2013-02-13

发明(设计)人：

戈士勇

申请人：

申请人地址：

214423 江苏省无锡市江阴市周庄镇长青路2号

IPC主分类号：

C23F120

IPC分类号：

代理机构：

江阴市同盛专利事务所 32210

代理人：

唐纫兰;曾丹

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-03-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101415523505 IPC(主分类):C23F 1/20 专利申请号:2012103790671 申请日:20121009
2016-03-09	授权	授权
2013-02-13	公开	公开

共 50 条

[1]

高蚀刻速率无残留酸性铝蚀刻液生产装置 [P].

戈士勇 .

中国专利 :CN204369992U ,2015-06-03

[2]

高蚀刻速率无残留酸性铝蚀刻液生产装置 [P].

梁小朝 ;

连杰 ;

姚浩川 ;

黄德新 .

中国专利 :CN210787187U ,2020-06-19

[3]

一种高蚀刻速率及选择比的铝蚀刻液及其制备工艺 [P].

梁小朝 ;

连杰 ;

姚浩川 ;

黄德新 .

中国专利 :CN110528004A ,2019-12-03

[4]

一种酸性铜蚀刻液及其制备工艺 [P].

戈士勇 .

中国专利 :CN102925894A ,2013-02-13

[5]

一种三氯化铁系ITO蚀刻液及其制备方法 [P].

戈士勇 .

中国专利 :CN102732253A ,2012-10-17

[6]

一种新型酸性钼铝钼蚀刻液及其制备工艺 [P].

戈士勇 ;

沈翠芬 ;

盛建伟 ;

袁晓蕾 .

中国专利 :CN103255417A ,2013-08-21

[7]

一种新型酸性钼铝蚀刻液和制备工艺 [P].

戈士勇 .

中国专利 :CN102181867A ,2011-09-14

[8]

无残留的银蚀刻液及其制备方法、蚀刻方法和应用 [P].

张伟明 ;

刘明辉 ;

聂航 ;

衡京 .

中国专利 :CN119040893A ,2024-11-29

[9]

酸性高纯钼铝蚀刻液制备装置 [P].

沈翠芬 ;

戈士勇 ;

盛建伟 .

中国专利 :CN202519334U ,2012-11-07

[10]

一种酸性蚀刻液添加剂及酸性蚀刻液 [P].

侯延辉 .

中国专利 :CN107747094B ,2018-03-02

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