一种高蚀刻速率及选择比的铝蚀刻液及其制备工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910779513.X

申请日：

2019-08-22

公开(公告)号：

CN110528004A

公开(公告)日：

2019-12-03

发明(设计)人：

梁小朝连杰姚浩川黄德新

申请人：

申请人地址：

231600 安徽省合肥市肥东县合肥循环经济示范园长松路东

IPC主分类号：

C23F120

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

发明专利申请公布后的撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-25	发明专利申请公布后的撤回	发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):C23F 1/20 申请公布日:20191203
2019-12-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/20 申请日:20190822
2019-12-03	公开	公开

共 50 条

[1]

高蚀刻速率无残留酸性铝蚀刻液及其制备工艺 [P].

戈士勇 .

中国专利 :CN102925896A ,2013-02-13

[2]

一种高蚀刻速率与选择比的铝蚀刻液及其制备方法 [P].

李少平 ;

张演哲 ;

贺兆波 ;

张庭 ;

蔡步林 ;

万杨阳 ;

王书萍 ;

冯凯 ;

尹印 .

中国专利 :CN109706455B ,2019-05-03

[3]

一种高蚀刻速率、高选择比氮化钛蚀刻液及其制备方法与用途 [P].

侯军 ;

吕晶 ;

赖鑫 ;

陶爽 .

中国专利 :CN118406498A ,2024-07-30

[4]

一种高蚀刻速率与深宽比的铝蚀刻液制备方法 [P].

黄锣锣 ;

贺兆波 ;

叶瑞 ;

张庭 ;

钟昌东 ;

张演哲 ;

黎鹏飞 ;

刘悦 .

中国专利 :CN115679328A ,2023-02-03

[5]

高蚀刻速率无残留酸性铝蚀刻液生产装置 [P].

戈士勇 .

中国专利 :CN204369992U ,2015-06-03

[6]

一种稳定氮化硅蚀刻速率的无机高选择比蚀刻液 [P].

冯凯 ;

徐子豪 ;

贺兆波 ;

崔会东 ;

杜程 ;

王书萍 ;

叶瑞 ;

姜飞 ;

张庭 ;

冯帆 ;

班昌胜 .

中国专利 :CN115287070B ,2024-03-12

[7]

一种铝蚀刻液的制备装置及其制备工艺 [P].

林秋玉 ;

崔文涛 ;

沈军 .

中国专利 :CN118079716B ,2024-06-28

[8]

一种铝蚀刻液的制备装置及其制备工艺 [P].

林秋玉 ;

崔文涛 ;

沈军 .

中国专利 :CN118079716A ,2024-05-28

[9]

一种新型酸性钼铝钼蚀刻液及其制备工艺 [P].

戈士勇 ;

沈翠芬 ;

盛建伟 ;

袁晓蕾 .

中国专利 :CN103255417A ,2013-08-21

[10]

一种高选择比的钨蚀刻液 [P].

万杨阳 ;

钟昌东 ;

李少平 ;

贺兆波 ;

尹印 ;

张庭 ;

张演哲 ;

冯凯 ;

王书萍 ;

李鑫 ;

倪高国 .

中国专利 :CN112522707A ,2021-03-19

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