一种高蚀刻速率与深宽比的铝蚀刻液制备方法

被引：0

申请号：

CN202211261256.9

申请日：

2022-10-14

公开(公告)号：

CN115679328A

公开(公告)日：

2023-02-03

发明(设计)人：

黄锣锣贺兆波叶瑞张庭钟昌东张演哲黎鹏飞刘悦

申请人：

申请人地址：

443007 湖北省宜昌市猇亭区猇亭大道66-3号

IPC主分类号：

C23F136

IPC分类号：

代理机构：

宜昌市三峡专利事务所 42103

代理人：

成钢

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-02-03	公开	公开

共 50 条

[1]

一种高蚀刻速率与选择比的铝蚀刻液及其制备方法 [P].

李少平 ;

张演哲 ;

贺兆波 ;

张庭 ;

蔡步林 ;

万杨阳 ;

王书萍 ;

冯凯 ;

尹印 .

中国专利 :CN109706455B ,2019-05-03

[2]

一种高蚀刻速率及选择比的铝蚀刻液及其制备工艺 [P].

梁小朝 ;

连杰 ;

姚浩川 ;

黄德新 .

中国专利 :CN110528004A ,2019-12-03

[3]

高蚀刻速率无残留酸性铝蚀刻液生产装置 [P].

戈士勇 .

中国专利 :CN204369992U ,2015-06-03

[4]

一种高深宽比的铝蚀刻液及应用 [P].

贺兆波 ;

叶瑞 ;

高楒羽 ;

欧阳克银 ;

钟昌东 ;

黄锣锣 ;

郑秋瞳 ;

张宗萍 ;

黎鹏飞 .

中国专利 :CN117702116A ,2024-03-15

[5]

高蚀刻速率无残留酸性铝蚀刻液生产装置 [P].

梁小朝 ;

连杰 ;

姚浩川 ;

黄德新 .

中国专利 :CN210787187U ,2020-06-19

[6]

高蚀刻速率无残留酸性铝蚀刻液及其制备工艺 [P].

戈士勇 .

中国专利 :CN102925896A ,2013-02-13

[7]

一种高蚀刻速率、高选择比氮化钛蚀刻液及其制备方法与用途 [P].

侯军 ;

吕晶 ;

赖鑫 ;

陶爽 .

中国专利 :CN118406498A ,2024-07-30

[8]

一种铜钼蚀刻液及制备方法 [P].

李操 ;

宁本德 ;

张成宇 ;

徐何玉婷 .

中国专利 :CN120536927A ,2025-08-26

[9]

一种蚀刻速率稳定的铜蚀刻液 [P].

李少平 ;

钟昌东 ;

郝晓斌 ;

贺兆波 ;

张演哲 ;

张庭 ;

蔡步林 ;

万杨阳 ;

王书萍 ;

冯凯 ;

尹印 ;

李鑫 ;

景继磊 .

中国专利 :CN111647889A ,2020-09-11

[10]

一种铝蚀刻液的制备方法 [P].

张家明 ;

王维康 ;

何烨谦 ;

黄德新 ;

龚升 .

中国专利 :CN118477556B ,2024-11-22

← 1 2 3 4 5 →