一种高深宽比的铝蚀刻液及应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311464116.6

申请日：

2023-11-06

公开(公告)号：

CN117702116A

公开(公告)日：

2024-03-15

发明(设计)人：

贺兆波叶瑞高楒羽欧阳克银钟昌东黄锣锣郑秋瞳张宗萍黎鹏飞

申请人：

湖北兴福电子材料股份有限公司

申请人地址：

443007 湖北省宜昌市猇亭区猇亭大道66-3号

IPC主分类号：

C23F1/20

IPC分类号：

H01L21/3213 H01L21/02

代理机构：

宜昌市三峡专利事务所 42103

代理人：

王玉芳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

湖北省宜昌市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-02	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23F 1/20申请日:20231106
2024-03-15	公开	公开

共 50 条

[1]

一种高蚀刻速率与深宽比的铝蚀刻液制备方法 [P].

黄锣锣 ;

贺兆波 ;

叶瑞 ;

张庭 ;

钟昌东 ;

张演哲 ;

黎鹏飞 ;

刘悦 .

中国专利 :CN115679328A ,2023-02-03

[2]

一种铝蚀刻液及其制备方法和应用 [P].

高楒羽 ;

贺兆波 ;

叶瑞 ;

罗海燕 ;

刘春丽 ;

张庭 ;

钟昌东 ;

黄锣锣 ;

张演哲 ;

郑秋瞳 ;

张宗萍 ;

张玥 ;

雷康乐 .

中国专利 :CN119592954A ,2025-03-11

[3]

用于高深宽比蚀刻的含金属钝化 [P].

卡蒂克·S·科林吉瓦蒂 ;

萨曼莎·西亚姆华·坦 ;

李石柯 ;

乔治·马塔米斯 ;

刘龙植 ;

潘阳 ;

帕特里克·范克利蒙布特 ;

阿希尔·辛格哈尔 ;

高举文 ;

拉什纳·胡马雍 .

中国专利 :CN112640064A ,2021-04-09

[4]

一种低坡度角的铝钼蚀刻液 [P].

贺兆波 ;

黄锣锣 ;

欧阳克银 ;

钟昌东 .

中国专利 :CN120818824A ,2025-10-21

[5]

高深宽比结构中电镀液的填充方法 [P].

刘博 ;

黄景山 ;

孔宪明 .

中国专利 :CN114908389A ,2022-08-16

[6]

一种铜/钼蚀刻液组合物及其应用 [P].

吴豪旭 ;

赵芬利 ;

梅园 .

中国专利 :CN108950557A ,2018-12-07

[7]

一种高蚀刻速率与选择比的铝蚀刻液及其制备方法 [P].

李少平 ;

张演哲 ;

贺兆波 ;

张庭 ;

蔡步林 ;

万杨阳 ;

王书萍 ;

冯凯 ;

尹印 .

中国专利 :CN109706455B ,2019-05-03

[8]

一种钼铝钼蚀刻液 [P].

康威 ;

鄢艳华 ;

尹静雅 ;

陈昊 .

中国专利 :CN107587135A ,2018-01-16

[9]

一种高蚀刻速率及选择比的铝蚀刻液及其制备工艺 [P].

梁小朝 ;

连杰 ;

姚浩川 ;

黄德新 .

中国专利 :CN110528004A ,2019-12-03

[10]

一种合金蚀刻液及合金的蚀刻方法 [P].

吴德生 ;

崔子龙 ;

林高 .

中国专利 :CN108611641B ,2018-10-02

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