一种合金蚀刻液及合金的蚀刻方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810542965.1

申请日：

2018-05-30

公开(公告)号：

CN108611641B

公开(公告)日：

2018-10-02

发明(设计)人：

吴德生崔子龙林高

申请人：

申请人地址：

516600 广东省汕尾市区工业大道信利工业城一区第15栋

IPC主分类号：

C23F118

IPC分类号：

C23F120 C23F130

代理机构：

深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285

代理人：

王仲凯

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-10-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/18 申请日:20180530
2018-10-02	公开	公开
2020-05-22	授权	授权

共 50 条

[1]

一种强化钼铌合金蚀刻的铜蚀刻液及蚀刻方法 [P].

李涛 ;

章佳寅 ;

徐杨 ;

沈夏军 ;

顾梦佳 ;

任奕宇 ;

朱龙 .

中国专利 :CN117737733A ,2024-03-22

[2]

一种钛铜合金蚀刻液及蚀刻方法 [P].

邹凯然 ;

潘丽 ;

曹广盛 .

中国专利 :CN114381736A ,2022-04-22

[3]

一种碱性镍合金蚀刻液及其制备方法和蚀刻方法 [P].

李初荣 ;

程莉君 ;

刘江 ;

韦金宇 .

中国专利 :CN120967349A ,2025-11-18

[4]

用于铜或铜合金的蚀刻液、蚀刻前处理液及蚀刻方法 [P].

加藤真 ;

丰田裕二 ;

中川邦弘 ;

石田麻里子 ;

金田安生 .

中国专利 :CN101910468B ,2010-12-08

[5]

铜及铜合金的蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

高桥　秀树 .

中国专利 :CN102995021A ,2013-03-27

[6]

一种镁合金蚀刻板的制备方法及镁合金蚀刻液 [P].

王卓 ;

唐伟能 ;

徐玉棱 ;

郑亚 ;

颜勇剑 ;

祁卫东 ;

王强民 .

中国专利 :CN115874260B ,2024-11-01

[7]

一种铜钼合金的蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

邵勇 ;

徐杨 ;

朱永刚 ;

顾维忠 ;

彭聪 ;

胡生望 .

中国专利 :CN113026018B ,2021-06-25

[8]

增大蚀刻液蚀刻用量的铜/钼合金膜的蚀刻方法 [P].

申孝燮 ;

丁镇培 ;

金世训 ;

李恩庆 .

中国专利 :CN103814432A ,2014-05-21

[9]

一种选择蚀刻钨及氮化钛的蚀刻液 [P].

钟昌东 ;

贺兆波 ;

刘悦 ;

张庭 ;

冯凯 ;

尹印 ;

万杨阳 ;

王书萍 ;

李鑫 ;

李金航 .

中国专利 :CN113604803A ,2021-11-05

[10]

一种钛铝合金蚀刻液及制备方法 [P].

余建平 ;

尹印 ;

贺兆波 ;

叶瑞 ;

万杨阳 ;

路明 ;

余迪 ;

臧洋 ;

杨陈宗 ;

杨俊伟 ;

马瑞 .

中国专利 :CN119776834A ,2025-04-08

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