增大蚀刻液蚀刻用量的铜/钼合金膜的蚀刻方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201280040139.8

申请日：

2012-08-09

公开(公告)号：

CN103814432A

公开(公告)日：

2014-05-21

发明(设计)人：

申孝燮丁镇培金世训李恩庆

申请人：

申请人地址：

韩国首尔市江南区奉恩寺路151号

IPC主分类号：

H01L213063

IPC分类号：

H01L29786

代理机构：

深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217

代理人：

蔡晓红

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-05-11	授权	授权
2014-06-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101583096951 IPC(主分类):H01L 21/3063 专利申请号:2012800401398 申请日:20120809
2014-05-21	公开	公开

共 50 条

[1]

铜钼合金膜的蚀刻液组合物 [P].

申孝燮 ;

金世训 ;

李恩庆 ;

丁镇培 ;

李相大 ;

韩斗锡 .

中国专利 :CN103890232A ,2014-06-25

[2]

铜钼合金膜的蚀刻液组合物 [P].

李恩庆 ;

金世训 ;

申孝燮 ;

李宝妍 .

中国专利 :CN103668208B ,2014-03-26

[3]

一种强化钼铌合金蚀刻的铜蚀刻液及蚀刻方法 [P].

李涛 ;

章佳寅 ;

徐杨 ;

沈夏军 ;

顾梦佳 ;

任奕宇 ;

朱龙 .

中国专利 :CN117737733A ,2024-03-22

[4]

用于铜/钼膜层的金属蚀刻液及其蚀刻方法 [P].

武岳 ;

雍玮娜 .

中国专利 :CN106498398A ,2017-03-15

[5]

蚀刻液组合物及铜钼膜层的蚀刻方法 [P].

吴豪旭 .

中国专利 :CN111074278A ,2020-04-28

[6]

一种铜钼合金的蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

邵勇 ;

徐杨 ;

朱永刚 ;

顾维忠 ;

彭聪 ;

胡生望 .

中国专利 :CN113026018B ,2021-06-25

[7]

铜/钼膜或铜/钼合金膜的蚀刻液组合物 [P].

申孝燮 ;

李恩庆 ;

金世训 .

中国专利 :CN103924242B ,2014-07-16

[8]

铜/钼膜或铜/钼合金膜的蚀刻液组合物 [P].

金世训 ;

李恩庆 ;

李宝妍 ;

申孝燮 .

中国专利 :CN103924244A ,2014-07-16

[9]

铜/钼膜或铜/钼合金膜的蚀刻液组合物 [P].

金世训 ;

李恩庆 ;

李宝妍 ;

申孝燮 .

中国专利 :CN107227463A ,2017-10-03

[10]

包含钼和铜的多层膜用蚀刻液、蚀刻浓缩液以及蚀刻方法 [P].

着能真 ;

渊上真一郎 ;

鬼头佑典 ;

小佐野善秀 .

中国专利 :CN106255777A ,2016-12-21

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