一种钛铜合金蚀刻液及蚀刻方法

被引：0

申请号：

CN202210012816.0

申请日：

2022-01-07

公开(公告)号：

CN114381736A

公开(公告)日：

2022-04-22

发明(设计)人：

邹凯然潘丽曹广盛

申请人：

申请人地址：

511458 广东省广州市南沙区望江二街4号1201(A2)房

IPC主分类号：

C23F126

IPC分类号：

C23F1114

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

初春

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-22	公开	公开
2022-05-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/26 申请日:20220107

共 50 条

[1]

用于铜或铜合金的蚀刻液、蚀刻前处理液及蚀刻方法 [P].

加藤真 ;

丰田裕二 ;

中川邦弘 ;

石田麻里子 ;

金田安生 .

中国专利 :CN101910468B ,2010-12-08

[2]

铜及铜合金的蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

高桥　秀树 .

中国专利 :CN102995021A ,2013-03-27

[3]

铜或铜合金用的蚀刻液、蚀刻方法及蚀刻液的再生管理方法 [P].

山根宪吾 ;

加藤真 ;

石田麻里子 .

中国专利 :CN102257180A ,2011-11-23

[4]

一种合金蚀刻液及合金的蚀刻方法 [P].

吴德生 ;

崔子龙 ;

林高 .

中国专利 :CN108611641B ,2018-10-02

[5]

一种铜合金膜蚀刻液组合物 [P].

刘耀鹏 ;

高小云 ;

钱森林 ;

孙家浪 ;

邹文 ;

李飞 ;

薛利新 ;

胡建康 ;

黄俊群 ;

李璐 ;

曹吕 ;

王洪华 .

中国专利 :CN119753685A ,2025-04-04

[6]

一种选择性铜及铜合金蚀刻液 [P].

李少平 ;

张宗萍 ;

贺兆波 ;

叶瑞 ;

欧阳克银 ;

黄锣锣 ;

钟昌东 ;

张演哲 ;

黎鹏飞 ;

郑秋曈 ;

高楒羽 .

中国专利 :CN117604528A ,2024-02-27

[7]

一种选择性铜及铜合金蚀刻液 [P].

李少平 ;

张宗萍 ;

贺兆波 ;

叶瑞 ;

欧阳克银 ;

黄锣锣 ;

钟昌东 ;

张演哲 ;

黎鹏飞 ;

郑秋曈 ;

高楒羽 .

中国专利 :CN117779035A ,2024-03-29

[8]

一种金属钛的无氟蚀刻液和蚀刻方法 [P].

请求不公布姓名 ;

赵伟 ;

肖林 .

中国专利 :CN120796989A ,2025-10-17

[9]

一种钛铝合金蚀刻液及制备方法 [P].

余建平 ;

尹印 ;

贺兆波 ;

叶瑞 ;

万杨阳 ;

路明 ;

余迪 ;

臧洋 ;

杨陈宗 ;

杨俊伟 ;

马瑞 .

中国专利 :CN119776834A ,2025-04-08

[10]

一种铜及铜合金选择性蚀刻液及蚀刻测试设备 [P].

白坤生 ;

彭汉杰 ;

谢彬 ;

邹青 ;

许道敏 .

中国专利 :CN120666333A ,2025-09-19

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