一种铜合金膜蚀刻液组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411700140.X

申请日：

2024-11-26

公开(公告)号：

CN119753685A

公开(公告)日：

2025-04-04

发明(设计)人：

刘耀鹏高小云钱森林孙家浪邹文李飞薛利新胡建康黄俊群李璐曹吕王洪华

申请人：

晶瑞电子材料股份有限公司

申请人地址：

215124 江苏省苏州市吴中经济开发区河东工业园善丰路168号

IPC主分类号：

C23F1/18

IPC分类号：

代理机构：

北京律和信知识产权代理事务所(普通合伙) 11446

代理人：

闫玉洁;何春晖

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-04	公开	公开
2025-04-22	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23F 1/18申请日:20241126

共 50 条

[1]

一种蚀刻液组合物 [P].

皇甫俊 ;

徐姗 ;

刘永强 ;

夏玉婷 ;

马敏峰 .

中国专利 :CN118496861A ,2024-08-16

[2]

一种铝合金蚀刻、调整组合物及其蚀刻方法 [P].

高春楠 ;

章乐 .

中国专利 :CN102206821A ,2011-10-05

[3]

铜钼合金膜的蚀刻液组合物 [P].

李恩庆 ;

金世训 ;

申孝燮 ;

李宝妍 .

中国专利 :CN103668208B ,2014-03-26

[4]

一种钛铜合金蚀刻液及蚀刻方法 [P].

邹凯然 ;

潘丽 ;

曹广盛 .

中国专利 :CN114381736A ,2022-04-22

[5]

铜及铜合金的蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

高桥　秀树 .

中国专利 :CN102995021A ,2013-03-27

[6]

蚀刻液组合物 [P].

尹景湖 ;

申孝燮 ;

金世训 .

中国专利 :CN107090581A ,2017-08-25

[7]

镍或镍/铜合金的蚀刻液组合物 [P].

张军 ;

常积东 ;

李承孝 .

中国专利 :CN102230178B ,2011-11-02

[8]

一种高稳定性PFD行业铜合金膜用蚀刻液 [P].

陈浩 ;

李华平 ;

王润杰 .

中国专利 :CN114318339A ,2022-04-12

[9]

Cu-Mo合金膜层蚀刻液组合物 [P].

李恩庆 ;

谢一泽 ;

李闯 ;

张红伟 ;

黄海东 ;

胡天齐 .

中国专利 :CN120556037A ,2025-08-29

[10]

一种蚀刻液组合物及其制备方法 [P].

包成 ;

鄢艳华 ;

赵大成 .

中国专利 :CN114250469A ,2022-03-29

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